概要基于多年來技術(shù)產(chǎn)品的市場發(fā)展經(jīng)驗(yàn),我們提供了一系列滿足客戶需求的質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品
概要高穩(wěn)定性的質(zhì)量流量計(jì)-氣體流量控制不受上流和下流端壓力變化的影響
概要SEC-Z700系列和CRITERIOND200系列即使在上流和下流壓力影響的情況下也可以提供穩(wěn)定的流量控制
概要SEC-8000F/D系列,可以在高溫環(huán)境下工作,實(shí)現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之一級(jí)別的超小流量的分析與控制,能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體制程需求
概要作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設(shè)備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關(guān)注