富士金Fujikin流量控制器
簡要描述:富士金氣體質(zhì)量流量計T1000系列具有高精度、快速響應、價格低廉、零漂低等特點
- 產(chǎn)品型號:
- 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
- 更新時間:2023-10-14
- 訪 問 量:729
富士金氣體質(zhì)量流量計T1000系列
具有高精度、快速響應、價格低廉、零漂低等特點。不僅滿足半導體、微電子、玻璃鍍膜、陽能電池等行業(yè),還可以滿足鋼廠、電廠、石化等行業(yè)的要求
規(guī)格參數(shù)
1. 多氣體多量程(MG/MR)功能
2. 可在客戶端簡單打盾進行氣體種類/流量變更,從10sccm至50slm
3. 高精度:±1%S.P.(100-25%),±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保證范圍15-35℃)
4. 再現(xiàn)性:±0.2% F.S
5. 強耐腐蝕性
6. 輸入輸出信號:模擬(0-5VDC)/RS-485、Device Net
7. 全量程范圍、響應速度快,≤1sec
8. 密封材質(zhì):金屬密封/橡膠密封
9. 閥門種類:NO常開NC常閉型
10. ***大動作壓力:400kPaG(Ar:500kPaG)
11. 耐壓:1MPa
12. 使用溫度:5-50℃
13. 金屬密封外部泄漏率:1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
14. 橡膠密封外部泄漏率:1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
15. 材質(zhì):SS316L不銹鋼
16. 接口方式:1/4vcr金屬面密封連接,卡套連接